MKS液位傳感器

一、美國MKS公司簡介
在MKS，他(ta)們(men)有(you)著悠(you)久(jiu)的(de)(de)歷史(shi)，可(ke)以利用他(ta)們(men)的(de)(de)集體好奇心來理解和(he)(he)開發解決方案，這些解決方案是(shi)許多(duo)關鍵技術(shu)創新的(de)(de)核心。這些創新推動了半(ban)導體，工業(ye)，生(sheng)命(ming)與健康科學，研(yan)究和(he)(he)國(guo)防市場的(de)(de)加速路線圖(tu)。他(ta)們(men)的(de)(de)使命(ming)是(shi)成為創新的(de)(de)和可信賴的合作伙伴，以突破可能性的界限。創新是他們潛在的增長引擎–發明導致新產品的推出，從而導致設計獲勝，從而帶來長期收入。他們對創新的不懈關注始于花時間真正了解客戶最復雜的問題，然后設計創新的解決方案來解決它們。

MKS Instruments與(yu)薄(bo)膜(mo)，加工(gong)制(zhi)造(zao)，環境(jing)監測和(he)(he)生命科學(xue)行業的(de)(de)(de)客戶合作(zuo)，為(wei)他(ta)們(men)最(zui)嚴(yan)峻的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)挑戰(zhan)開(kai)發突破性的(de)(de)(de)解決方(fang)案。他(ta)們(men)的(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)使(shi)他(ta)們(men)的(de)(de)(de)客戶獲(huo)得更(geng)大的(de)(de)(de)成(cheng)功(gong)，使(shi)他(ta)們(men)的(de)(de)(de)社會更(geng)加安全和(he)(he)高效。MKS成(cheng)立于1961年(nian)，是一(yi)家成(cheng)功(gong)而受人尊敬的(de)(de)(de)公司。他(ta)們(men)分為(wei)兩個部門(men)：真空和(he)(he)分析部門(men)，在(zai)壓力測量，功(gong)率，等離(li)子體，流量，化(hua)(hua)學(xue)，自(zi)動(dong)化(hua)(hua)以及控制(zhi)和(he)(he)分析方(fang)面擁有(you)廣泛的(de)(de)(de)技(ji)術(shu);以及光(guang)與(yu)運(yun)動(dong)部門(men)，在(zai)激光(guang)，光(guang)子儀器，亞微米定位，振(zhen)動(dong)隔離(li)和(he)(he)光(guang)學(xue)方(fang)面擁有(you)廣泛的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)。

二、美國MKS部分產品介紹
1、美國(guo)MKS Micro-Baratron®高(gao)壓，超(chao)凈，單端壓力傳感器
①電(dian)(dian)(dian)(dian)容壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)計是可(ke)以(yi)測量壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)和(he)真(zhen)空度的(de)(de)機電(dian)(dian)(dian)(dian)式壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)計。電(dian)(dian)(dian)(dian)容表將薄膜(mo)中的(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)調(diao)制(zhi)運動轉換(huan)成與(yu)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)成比(bi)例(li)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)信號(hao)。壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)傳感器是薄的(de)(de)隔(ge)膜(mo)，通(tong)過入(ru)口管暴露在壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)或(huo)真(zhen)空下(xia)。電(dian)(dian)(dian)(dian)極安(an)裝在隔(ge)膜(mo)后面的(de)(de)參考(kao)(kao)腔中。過程(cheng)與(yu)參考(kao)(kao)腔之間的(de)(de)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)差(cha)會使隔(ge)膜(mo)稍(shao)微(wei)偏斜，從(cong)(cong)而改變(bian)(bian)(bian)了(le)隔(ge)膜(mo)與(yu)電(dian)(dian)(dian)(dian)極之間的(de)(de)距離(li)。該距離(li)的(de)(de)變(bian)(bian)(bian)化會在隔(ge)膜(mo)和(he)電(dian)(dian)(dian)(dian)極之間產(chan)生電(dian)(dian)(dian)(dian)容變(bian)(bian)(bian)化，從(cong)(cong)而產(chan)生與(yu)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)變(bian)(bian)(bian)化成比(bi)例(li)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)信號(hao)。
②AA07A/AA08A傳感器非常適合用(yong)于將超純氣(qi)(qi)體(ti)供入關鍵過程系(xi)統的(de)輸送(song)系(xi)統。它們暴露在氣(qi)(qi)流中的(de)濕表面的(de)表面光潔度比Ra好5µin。這些換能器具有(you)出色的(de)干燥特性，并且在背景以上沒有(you)顆粒。在制(zhi)造和組裝后(hou)，將它們用(yong)超凈(jing)氮(dan)氣(qi)(qi)吹掃，然后(hou)在100級環境(jing)中進行兩次裝袋。
③AA07A/AA08A中(zhong)的(de)傳(chuan)感(gan)器采用全Incoloy®結構，可實(shi)現較(jiao)高的(de)過壓容(rong)限，從而減(jian)少了由(you)于(yu)管(guan)路壓力峰值而引起的(de)誤差。高爆(bao)破壓力等級有助于(yu)整體系(xi)統(tong)安全。在(zai)現有的(de)氣柜和處(chu)理系(xi)統(tong)上，由(you)于(yu)體積小(xiao)，行業標準的(de)端到端長(chang)度以及這些(xie)傳(chuan)感(gan)器的(de)電(dian)氣接(jie)口選擇(ze)，使得更換普通(tong)百分表或性(xing)能(neng)較(jiao)低的(de)傳(chuan)感(gan)器變得容(rong)易(yi)。

2、美(mei)國MKS 624F 1-1,000 Torr，加熱(re)(45°C)帶(dai)有脫扣點的(de)絕對Baratron®電容壓力計(ji)
①溫度(du)控(kong)制在45°C，讀數精(jing)度(du)為0.12%
②0至10 VDC模(mo)擬量輸出，與絕對壓(ya)力(li)成比例
③兩個可調過程(cheng)跳閘點繼電器
④直接測(ce)量總(zong)壓力(li)，與(yu)氣體(ti)成(cheng)分無關
⑤所(suo)有Inconel®傳感器耐腐(fu)蝕(shi)濕表面
⑥集成(cheng)式集液(ye)槽(cao)提(ti)供顆粒保護

3、美(mei)國MKS多氣體，多量(liang)(liang)程，金屬密封，50-50,000 sccm的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器
①流量從5到50,000 sccm
②金屬密封，帶(dai)特氟龍閥塞
③多(duo)種數字(ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I/O
④標準(zhun)閉合電導泄(xie)漏率小(xiao)于滿量程的(de)1.0%
⑤少于750毫秒(miao)的建立時間

4、美國MKS 901P MicroPirani™和壓(ya)電式Loadlock真空(kong)壓(ya)力傳(chuan)感器
①絕對壓力測(ce)量范(fan)圍為1,000至10-5托
②單個(ge)傳感器中的3傳感器功(gong)能可實現(xian)廣泛(fan)的測量范圍
③模擬，RS232，RS485和EtherCAT®版本
④可選的集成觸摸屏顯示器可用(yong)于本地壓力(li)指示
⑤快速，準確和可重復的壓力測量縮短了處理(li)周期
⑥具有快(kuai)速響(xiang)應時間(jian)的三個可選(xuan)設定點，可實現可靠(kao)的過(guo)程控制

5、美國MKS GPCA通用壓力控制器
①設(she)定點精度的(de)百分(fen)比可實現精確的(de)過程控制(zhi)
②溫(wen)度補償(chang)壓(ya)力傳感器保持精確度
③DeviceNet™，EtherCAT®或RS485通(tong)信(xin)
④嵌入式用(yong)戶界(jie)面
⑤10µ;英寸電拋(pao)光316L表面(mian)處理和金屬密封，適用(yong)于高(gao)純度應用(yong)

MKS液位傳感器